二手 KLA / TENCOR 5500 Surfscan #9252403 待售

KLA/TENCOR 5500 Surfscan是一種晶圓測試和計量設備,提供高通量和高精度掃描功能。該系統由兩個主要組成部分組成：一個最先進的高速運動級和一個超精確的晶圓平移級。運動級配備了高分辨率線性編碼器和微調光學空氣軸承，使晶圓的精確表面掃描具有亞納米級的可重復性和準確性。翻譯階段提供了額外的精度級別，允許對晶片上的缺陷進行高度精確的測量。這兩個組件一起能夠在晶圓上進行各種測量和測試。最常見的測量類型包括線掃描、區域掃描、點測量和邊緣檢測掃描。該裝置還能夠剖析晶片表面的小結構，如小凸點、粒子、微凸點、凹坑和劃痕。它還能夠執行焦平面線掃描、溫度剖析和X射線成像等專門測量。除了提供多種測量類型外，KLA 5500 Surfscan還具有集成軟件包，允許用戶輕松捕獲、分析和存儲測量數據。該軟件包設計為用戶友好,包括一套功能,使用戶能夠快速準確地執行晶圓測試和計量任務。總體而言，TENCOR 5500 Surfscan是執行高精度晶圓測試和計量任務的優秀機器。它能夠執行各種測量和測試,非常適合許多行業和應用。它強大的集成軟件包使捕獲、分析和存儲測量數據變得容易,從而使用戶能夠快速、準確地執行所需的任務。