二手 KLA / TENCOR P2 #9163528 待售

ID: 9163528
Wafer inspection system.
KLA/TENCOR P2是為半導體工業開發的晶圓測試和計量設備。它旨在對各種樣品材料(如GaAs、SiGe和SiC晶片)上的過程變量以及MEMS和納米級成像樣品進行精確測量。它能夠對半導體基板的物理尺寸和電氣特性進行測量。該系統采用高分辨率成像、深溝蝕刻、集成光學診斷和車載計算機的組合,測量地形、表面形態、摻雜、電阻率和指定電導率等晶片的詳細參數。該單元能夠拍攝晶片的高分辨率圖像,同時提供晶片的詳細物理和電氣參數,簡化晶片的測量和表征過程。該機器配備了先進的軟件和硬件接口技術,可輕松集成到現有的制造基礎架構中。這包括以太網端口、智能主機控制和一套映像分析軟件等功能。該工具能夠測量各種過程變量來測量電容、阻抗、相移和阻抗等電特性。該資產專為高吞吐量和準確性而設計,能夠在單個分析會話中對許多不同類型的半導體組件進行深入分析。它還配備了先進的校準和校準管理能力,並允許測量小型特征尺寸。該模型所使用的數學算法允許對電氣特性和性能數據進行非常精確的計算,以便進行精確的測量和分析。此外,設備支持最新的統計過程控制(SPC)方法,可用於發現產品過程變化並快速采取糾正措施。系統附帶的軟件支持數據分析、報告生成和對過程變量的密切監視。總體而言,KLA P-2是一個先進的晶圓測試和計量單元,旨在提供對各種半導體元件的過程變量的精確測量。它建立在先進的成像和分析技術之上,非常適合對晶片和其他組件進行深入分析。該機具有高度可定制的特點,可用於統計過程控制和準確測量電氣特性。
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