二手 KLA / TENCOR 5500 Surfscan #55391 待售

看起來這件物品已經賣了。檢查下面的類似產品或與我們聯系,我們經驗豐富的團隊將為您找到它。

ID: 55391
優質的: 1989
Inspection system Power: 110 VAC - 160 VAC 1989 vintage.
KLA/TENCOR 5500 Surfscan是一款先進的晶圓測試和計量設備,能夠對各類半導體器件進行高通量測試和分析。該系統與先進的光學散射測量單元集成在一起,能夠改進半導體器件上結構和電氣參數的特性。這臺機器還具有強大的自動對焦功能,可優化成像以獲得均勻性和關鍵計量結果。此外,KLA 5500 Surfscan能夠提供低失真測試,使其適用於評估具有高長寬比和曲面的設備。TENCOR 5500 Surfscan隨附Scan Generator軟件,方便晶圓跟蹤和全局對齊測量。該軟件支持多種特征配置和評估,包括全局對準測量、光學散射測量、曲率半徑、傾斜、最佳焦點等。此外,它的多維變換分析可以在實際特征形狀和目標設備之間進行精確的比較。該工具通常使用空氣軸承掃描儀掃描具有4英寸和6英寸測量場的500毫米晶片。由於其低分辨率水平和高速掃描速率,該資產能夠測量低模式密度。它還提供三種不同的掃描選項,包括高分辨率、中分辨率和快速掃描。除了掃描晶片之外,模型還提供了一個3-D旋轉級來測量離散元件或器件。5500 Surfscan附帶用戶友好的檢查軟件,便於設備的實施和操作。這個直觀的軟件有一個圖形用戶界面,便於快速設置和分析結果。軟件還提供了強大的數據分析選項,包括曲線擬合和參數提取,以實現高效的數據分析。該系統用於廣泛的晶圓計量應用,包括臨界幾何評估、模式拓撲測量、缺陷檢測和分析以及其他檢查應用。它還有助於表征研究、生產增強、工藝鑒定以及與可靠性和工藝開發相關的其他應用。KLA/TENCOR 5500 Surfscan的實時監控能力使其適合於內聯過程控制和高級過程改進。
還沒有評論