二手 NANOMETRICS LYNX #9203706 待售

ID: 9203706
晶圓大小: 12"
優質的: 2013
Critical dimension measurement system, 12" Missing parts: PAS Server Loading configuration: (4) Load ports Power rating: 200 VAC~240 VAC, Single phase 2013 vintage.
NANOMETRICS LYNX是一款新穎的晶圓測試和計量設備,旨在實現半導體器件制造行業的先進工藝控制。該系統利用光學計量、接觸掃描和電氣測量的集成解決方案,對晶圓特性進行高度精確的評估。LYNX旨在以經濟高效的方式支持晶圓測試、過程監控和計量,目的是提供更高的過程產量和提高設備性能。NANOMETRICS LYNX的設計使用集成的計量平臺和一系列工具,為光學計量、接觸掃描和電氣測量提供優化的解決方案。此單元測量各種設備參數,例如設備高度、表面粗糙度、叠加精度和電氣性能。通過光學和電氣檢測相結合,LYNX能夠測量薄膜測量的選擇性層的性能。它還可以評估臨界界面層、直接橫向特征和測量的電氣特性。此外,NANOMETRICS LYNX還具有用於自動映射和分析關鍵組件的高級圖像處理軟件。該軟件用於分析設備的橫向特征,量化形狀和大小,並檢測諸如劃痕、凹坑和人工制品等缺陷。此外,其接觸掃描功能(CD-SEM和AFM)還執行組件對齊、叠加測量和背面分析,以提高產量。機器提供3D圖像中多層的可視化,以幫助檢測缺陷。LYNX運行在最新的硬件和軟件平臺上,以簡化維護並增強性能。該工具旨在滿足大批量生產的嚴格需求,可與其他工藝工具集成。此外,還可以根據特定應用程序的具體需求對資產進行定制,並提供多種定制選項。最後,NANOMETRICS LYNX為晶圓測試和計量提供了一個功能強大的集成解決方案,能夠提供準確、可靠和經濟高效的結果。LYNX憑借其先進的成像功能,可以滿足流程控制和產量改進方面的各種要求。
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