二手 DNS / DAINIPPON SU-3100 #293595582 待售
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ID: 293595582
晶圓大小: 12"
優質的: 2008
Wet station, 12"
HDI
CDS
UPS
No load ports
HDD
Damaged: PC Mother board
Power supply
2008 vintage.
DNS/DAINIPPON SU-3100是一個濕式站,專門為半導體制造過程集成方面的客戶提供可靠、創新的解決方案。該設備由於精確度高、運行成本效益高而極為成功。SU-3000系列為高性能、自清潔濕式站，改進了噴流凈化系統。適用於單模尾加工、單晶圓填充工藝等應用。凈化裝置消除灰塵和其他汙垢顆粒，同時盡量減少對工藝環境的影響。除了先進的噴流凈化機外，SU-3000還配備了使用有機清潔劑的創新清潔裝置。它的速度高達3 Hz，頭部間隙小於1 mm增加精度。清潔裝置減少了生產高質量半導體器件的停機時間。該工具是針對行業標準半導體加工工藝如蝕刻、電鍍、沈積、清洗等進行預編程的。過程控制模塊提供精確的參數自動調整。這樣可以確保每個步驟的處理在所有生產運行過程中都是精確且統一的。DNS SU-3100還具有多項功能,旨在提高靈活性,以滿足客戶的需求。它帶有可變的八區加熱資產，以減少熱漂移和確保過程溫度穩定。此外，該模型還配備了可調氣體輸送設備，以確保有效混合過程中使用的氣體和試劑。最後，DAINIPPON SU 3100具有有效的冷卻系統，使機組溫度保持在工作溫度範圍內。這樣可以確保過程的質量和準確性不會因過熱而受到影響。因此，SU 3100是半導體工業中可靠、經濟高效和準確的工藝的理想濕站。
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