二手 SEMITOOL SST-C-421-280 #9144801 待售

SEMITOOL SST-C-421-280是一種全自動光刻設備，由兩個處理室組成，能夠在一個負載下處理多達161個晶圓，可以作為單室或兩室系統工作。加工室采用回火不銹鋼結構，具有可調的3區精密控制器和工藝計時器，以優化熱均勻性和整體單元吞吐量。第一室采用高收益低失真折疊透鏡（VFL）掃描儀的照片成像軌道，以實現最佳的晶片覆蓋。此掃描儀在晶片表面上以每秒7至60毫米的速度移動,以實現最大的精度和吞吐量。成像機的加工頭可在600mm至600 mJ/cm之間²以便更好地控制圖像邊緣輪廓和立管。這條軌道還具有可調的加熱空間，處理時間長達60分鐘，非常適合對更長的晶圓結構進行成像。為了獲得最大的柔韌性，第二室能夠啟動單晶片浸入和噴霧發展循環。浸入式開發工具包括高度控制平臺（HCP）和噴射泵叠加,可最大程度地減少零件損壞並提供卓越的零件覆蓋範圍。HCP在Z軸可調0.2至4厘米，用於控制零件通量，與包括H2O2、磷酸等在內的多種溶劑兼容。設計了噴霧顯影設備，以實現最佳的精度和可重復性，並提供了一個最小的變形和零件損壞的優越的平整輪廓。它允許噴嘴在X和Y兩個方向上移動，實現圓形或x-y-z噴塗，每個晶圓最多可輸送五個噴霧發展循環。最後,該模型還提供了一個可選的單片幹燥機（MWD）.這款功能強大但節能的烘幹機利用多個熱散熱器，將晶圓均勻加熱至90°C的溫度，達到最高溫度均勻性和低熱應力。總之，SEMITOOL SSTC421280是一種全自動光刻設備，設計提供最大的靈活性和最佳的精度。其雙加工室的設置非常適合在一個負載下處理多達161個晶片,而其高收益低失真的折疊透鏡掃描儀、浸入式顯影系統和單晶片烘幹機都有助於以最小的零件損壞提供優異的效果。