二手 TEL / TOKYO ELECTRON Expedius+ #293629293 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Expedius+是一個先進的濕式站，為高復雜度工藝應用的精確控制提供了一個多合一的解決方案。濕站結合了精確低壓化學氣相沈積（LPCVD）、化學機械拋光（CMP）和精密濕法處理能力。該單元可以處理高達200毫米（直徑）和16毫米厚度的工件，確保了高度的精度和可重復性。濕站配有真空室，設計和建造的材料質量優越，確保最高性能和可靠性。特別設計的腔室能夠對CMP工藝進行精確的控制，從而實現精確的蝕刻、高水平的表面平整度、平滑度和均勻性。它還實現了對CMP操作的卓越精確控制,最大限度地提高了工藝的質量和生產率。濕站還采用化學和電鍍工藝相結合的方式，準確控制所有表面特征的均勻性。CMP和LPCVD過程在整個過程中都經過精確監控和管理,確保了產品的一致性和可重復性。濕法站還支持幹法應用，提供先進的幹法蝕刻功能。集成的高速主軸在拋光、研磨和存檔的機械過程中提供了更好的控制和更高的生產率。屏幕上的圖形顯示所有正在運行的進程的結果,並能夠查看過去的操作和設置以進一步優化。該站配備了包括壓力、溫度、濕度和液位在內的一系列傳感器，為操作員提供準確反饋。TEL Expedius+提供可靠一致的環境,以確保在化學、機械和濕法加工過程中的最佳精度和可重復性。低壓室、集成主軸和高效控制系統等功能使設備能夠提高產品質量和產量,同時降低成本。這種多功能濕式站是精確控制高復雜度工藝應用的理想選擇。