二手 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9188258 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA反應堆是一種多用途設備，設計用於處理先進材料，如矽、砷、鈦。它用於各種類型的半導體加工，包括快速熱處理（RTP）、化學氣相沈積（CVD）、原子層沈積（ALD）、光致抗蝕劑剝離和熱氧化。這個系統能夠在各種工藝條件下操作，並且可以支撐直徑從100毫米到300毫米不等的基板。AMAT CENTURA反應器由兩個獨立的室組成：鎖載室和工藝室.該鎖載室用於快速裝卸基板進出加工室。它也被用於保護工藝室不受顆粒和汙染物的影響，使用真空單元可以快速抽出任何不需要的材料。該工藝室用於基板的實際加工，具有可調壓力、溫度和其他工藝參數。APPLIED MATERIALS CENTURA反應堆具有專有的EFC（端點快速循環）功能,它使機器能夠在幾秒鐘內（而不是典型的分鐘）到達過程端點。此功能節省了時間和金錢,使操作員能夠快速優化各種工藝參數以實現最高效率。反應堆還利用無臭氧加熱元件，提供精確的溫度控制和室內的均勻加熱。這確保了所有基板都受到完全相同的工藝條件，從而產生一致、高質量的半導體生產。除這些特性外，CENTURA反應堆還利用了專利多區冷卻工具。該資產有助於優化腔室的冷卻速率，使腔室能夠響應工藝參數的變化而快速調整。該模型還有助於降低粒子汙染、電子故障和其他潛在問題的風險。AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA反應堆是半導體工業中最可靠、最先進的生產工具之一。它是需要精確、安全、可重復結果的研究機構、大學和工業用戶的理想選擇。該反應堆具有尖端特點，能夠以優異的效率和可靠性處理各種材料。