二手 ASM A 412 #9137395 待售

看起來這件物品已經賣了。檢查下面的類似產品或與我們聯系,我們經驗豐富的團隊將為您找到它。

製造商
ASM
模型
A 412
ID: 9137395
晶圓大小: 12"
優質的: 2011
Vertical LPCVD furnace, 12" P/N: 2E0082-06-01 CIM: E84, SECS/GEM, GEM300 Nitride furnace (2) Ports Protocol zone: FEOL SMIF Handler Chamber 2011 vintage.
ASM A 412是一種用於半導體生產等工業應用的擴散爐。為400毫米垂直爐,多區設計,生產靈活,吞吐量更高。該爐還具有節能技術和改進的熱均勻性。爐的溫度範圍為250°C-1250°C,加熱元件由高溫合金制成。該爐還配備了全自動化的過程可重復性和可靠的操作。ASM A412的主要部分是床板、入口和出口系統、車身、蓋子和供熱元件的電源。床板是爐座,由高檔鋁合金制成,最大耐用性。入口和出口系統的設計是為了最大程度地均勻地加熱基板。爐體采用陶瓷纖維制成的隔熱材料和不銹鋼制成的外板雙壁。蓋子由不銹鋼制成,具有密封的外殼,帶有兩個視圖端口和一個加固的起重手柄。A 412的加熱元件由粉末塗層的碳化矽棒組成。元件使用可調節且穩定的低壓直流電源進行精確控制。電源通過內置的安全調節保護免受電壓和電流的沖擊,並且可以遠程控制。A412配有各種配件,以幫助自動化的過程。附件包括用於控制惰性氣體的集成質量流控制器、用於控制供熱元件交流電源的計時器繼電器以及用於監測過程溫度的高溫計。該爐還具有可編程邏輯控制器(PLC),可用於自動化工藝參數,計算氫氣濃度,監測壓力,控制鉛/錫浴溫度。ASM A 412是一種高度可靠和高效的擴散爐,非常適合各種應用和工業過程。憑借其先進的功能、用戶友好的設計和高質量的組件,ASM A412在生產中提供了準確且可重復的結果。
還沒有評論