二手 ASM A 412 #9176794 待售

ASM A 412是為高性能晶圓級材料設計的擴散爐及配件。特別是適用於需要快速沈積薄膜的應用，如高溫超導體、MEMS器件、MEMS傳感器、薄膜晶體管等。設備最高溫度為1350 °C，允許進行高溫處理。它易於配置，有多種用於爐罩、原料和安普爾的選項。ASM A412爐安裝在包括便攜式滾動車或緊湊型壁架的支架上。它具有多種自動安全功能，包括報警系統和如果爐溫超出範圍自動停止。爐子由不銹鋼引擎蓋保護，可以精確控制大氣，防止氣體泄漏。該單元可以被編程為控制大氣壓力，最多有七個獨立的設定點，機器還結合了一套診斷功能，方便故障排除和維護。爐子可以定制幾個配件。其中包括多段晶片持有者、安普爾和安普爾持有者，以及特種材料。碳化矽消聲器允許晶片快速熱處理，可調節加熱速率高達50°C/sec。該工具包括一個雙原子大氣噴射器，可以精確控制氣體流量。這樣可以快速加熱和冷卻晶片。該爐還包括多種輔助設備，如熱電偶資產、電子壓力表和真空泵。集成熱電偶模型允許精確控制排煙，並可用於監測爐和晶片的溫度。壓力表可以精確控制不同處理階段的大氣壓，而真空泵則可以維持腔室內的高真空。綜上所述，為晶圓級材料的高效、安全沈積設計了412型擴散爐及其附件。該設備具有廣泛的自動化安全特性，可調節的大氣壓力，以及一系列輔助設備，以簡化和優化晶圓的熱處理。