二手 ASM A 412 #9176795 待售

ASM A 412是為半導體晶體生長應用而設計的擴散爐及配件。該爐配備了先進的自動控制型擴散源設備，允許精確控制擴散速率和溫度。擴散爐還具有一個具有均勻加熱系統和剛體設計的高耐火室。該爐能夠在整個擴散過程中提供均勻的擴散結果。均勻加熱裝置確保腔室溫度和氣體流量在整個過程中保持一致。擴散爐還具有可編程的多區保護機，以減少汙染和操作失誤的可能性。該爐對晶片的裝卸具有快速的響應時間，為用戶提供了快速的周轉時間。快速擴散過程還可以減少擴散過程的損失，提高產品產量。此外，ASM A412擴散爐的獨特設計可以防止滲金或滲碳汙染。該爐采用多功能真空室，可用於冷熱操作。這種特性對於沈積材料層或在基板上制造多層系統特別有用。此外，真空室的設計允許快速疏散和快速的壓力變化。該爐還具有各種各樣的輸入和輸出配置，以適應不同的應用。它有多個用於控制氣流和溫度的端口，以及一些用於故障拍攝和控制的指標和警報。這允許用戶調整過程，檢查工具的狀態，並更快速地選擇進程。此外，A 412爐包括樣品架、百葉窗、熱電偶等多種配件，以有效控制和監測擴散過程。該爐包括熱保險絲、水冷和組合指示器/互鎖開關等多種附加安全功能。總體而言，A412擴散爐及其附件為半導體晶體生長應用提供了可靠、經濟高效的解決方案。該爐能夠提供統一和可重復的結果，同時促進安全和高效的工作環境。