二手 ASM A 412 #9176796 待售

ASM A 412擴散爐是先進的擴散結合和外延生長技術的一種強大而可靠的工具。適用於各種應用，包括半導體器件制造、MEMS（微機電系統）器件、先進的工藝器件技術、先進的封裝。ASM A412擴散爐配有水平排列、四區、穩態、真空控制垂直爐、4區、3000 W多晶熱板和晶圓穩定機構。晶圓穩定機構保證晶圓溫度的高均勻性，這是擴散爐的主要優點之一。爐的溫度範圍是從室溫到1200 °C。溫度穩定性可維持在0.1°C以內，溫度均勻性通常優於0.5°C。爐子還配有各種特點和配件。例如，它有一個渦輪泵，以提高泵送速率，減少建立真空的時間，直到擴散過程前1E-4 Torr，以及允許在過程中精確控制壓力和氣體流動的氣體開口和排氣口。該爐還具有獨特的反向旋轉機構，以降低濺射蝕刻效果。端板可以容納直徑不超過8英寸的樣本量。此外，該爐利用底部金屬加熱元件及其低溫外延生長和氧化能力、特定傳導模式沈積、輻射硬化和快速熱退火以及激光輔助金屬模式，提供了廣泛的應用。總體而言,A 412擴散爐是先進擴散結合和外延生長技術的理想選擇.它易於控制的溫度和均勻性,堅固可靠的設計,以及廣泛的特性和配件,使其成為各種應用的理想選擇。