二手 ASM A 412 #9185404 待售

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ASM A 412
已售出
擴散爐以及配件
製造商
ASM
模型
A 412
ID: 9185404
晶圓大小: 12"
Vertical furnaces, 12" Dual reactors cure VDF: CU, PI WIP Module: Part number / Description 2945169-01 / Main frame WIP assembly 2379589-01 / Elevator chr 2947641-01 / Cassette stacker carousel 2944170-01 / Cassette transfer module 2947692-01 / Load port 2403641-01 / Pneumatic box 2947617-01 / WIP Flow box Reactor module (Base model info): Part number / Description 2330865-01 / Main reactor A412 frame assembly 2916177-01 / Reactor A412 top frame 2931303-01 / Reactor servo drive 2370387-01 / Reactor EMO / Motion 2931257-01 / BTC Box 2373718-01 / WTC Box 2909251-01 / R1 / R2 Controllers 2936550-01 / Reactor touchscreen 2327287-01 / Carousel bearing 2329999-01 / Carousel housing 2931222-01 / Carousel drive 2931109-01 / Reactor carousel 2379872-01 / Reactor fan 2936739-01 / A412 Gate valve 2997320-01 / Boat elevator A412 2972786-01 / Loader arm LP ROT 2936666-01 / O2 Analyzer reactor GEN 2366460-01 / N2 Purge generic 2330768-01 / TCU / TCF Generic 2330350-01 / VAC / PNEU Comp A412 Miscellaneous: Part number / Description 2895587-01 / (2) End effectors 242 CER 2927772-01 / N2-Purge 200 SLM assembly 2927810-02 / Reactor O2 analyzer 120 VAC 2405067-01 / Door opener 2nd GEN IC 2888025-01 / Transponder 2356341-01 / Press sens WHR single 2356333-01 / Press sens RC car Reactor chambers 1-2: Part number / Description 2995905-01 / Reduced exhaust ATM kit 2842939-02 / Process tube ATM NQ thin kit 2897334-02 / Door plate ATM LT H2 SS 2845644-02 / Wafer carrier NQ ATM 300 mm 2805847-01 / Thermocouples ATM BC 2954664-01 / Mount block FLG'S 2869764-01 / FLGS Proc / Door ATM MK 2806096-01 / ATM Scavenger purge 2864282-02 / Outlet no QTZ ATM H2-cure kit 2894564-01 / Heat exchanger RC1 / RC2 2996235-01 / Klixon heater element 2953927-01 / Heat ELEM ATM FR LT 2836343-01 / ATM Exhaust RC1 / RC2 120 V 2301652-01 / ELEC FLG'S ATM A412 2866048-01 / Heater outlet ATM 24 V 2955644-01 / GASP H2 Cure RC 1/2 2907860-01 / Intermediate H2 Cure RC 1/2 2310953-02 / INC GASL RC 1/2 901300 2865262-01 / H2 Sensing RC1 / RC2 2332108-01 / Pump TCU 2862255-01 / O2-Analyzer ATM H2 cure RC 1/2.
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ASM A 412是一種先進的熱處理工具，設計用於均勻加熱擴散基板和相關組件。它可以加工直徑不超過6英寸的基板,其熱梯度±為3°C。熱量由壽命長的管狀加熱元件產生，這些元件通過獨立的能量控制系統運行。該機組設有預處理加熱、均勻浸泡、曲線跟隨加熱、冷卻速率控制等熱處理功能。這種設備具有真空斷裂功能，使爐子能夠在擴散發生之前從基板表面排出空氣或其他氣體。當加熱元件通電時發生擴散過程，這使得爐的溫度提高到要求的設定點。然後將基材置於熱區，以加快擴散過程。該裝置采用垂直加載設計，可快速方便地進入基板，並在整個爐子內保持均勻的溫度梯度。它還具有與加熱室集成的空氣冷卻系統，這有助於顯著減少擴散時間。此外，該裝置還包括一個先進的石墨加熱器，有助於保持所需的溫度均勻性。為了保證最佳的安全等級，單位還有一個緊急開關。ASM A412擴散機是一種易於使用、可靠的工具，可用於各種擴散程序。它的靈活性使它成為那些需要快速、可靠和高性能熱處理資產的人的絕佳選擇。它兼具的特性確保了很好的效果，使其成為擴散處理業務中的一個很好的選擇。
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