二手 ASM A 412 #9170221 待售

ASM A 412是一種用於半導體制造應用的擴散爐及配件。它是為摻雜劑擴散到晶片而設計的。設備配備了廣泛的功能，以確保高效、安全和可重復的處理。爐膛由優質材料制成，並裝有石英管，以防止過程周期中的汙染。由四區恒溫垂直加熱系統加熱。四個高精度加熱器盒由獨立的PID控制器控制,可確保可重復的溫度精度（0.01°C） ±。它還配有一個冷卻的上板，用於均勻的等溫處理。ASM A412具有強大的自動化端點檢測器,可確保準確檢測端點,消除成品中的潛在缺陷。它還有一個帶伺服電機的自動升降機平臺，確保晶圓的一致裝卸。電子控制面板提供了有關操作參數和安全的所有必要信息，使過程完全簡單直觀。412還包括一個堅固的真空裝置。它能夠在擴散室中維持較低的局部真空壓力，允許精確和可重復的擴散過程。爐子配件包括自動預覽機、冷卻和排氣工具以及惰性凈化資產。這些部件保證了爐子的正常高效運行.A412是為提供優越的晶圓均勻性和產量而設計的。其精密的設計和技術使其成為高性能半導體制造工藝的理想選擇。它具有多種功能、準確可靠的性能以及易於維護,是您進行擴散過程的理想工具。