二手 ASM ETW-450 #9200208 待售

ASM ETW-450是一種先進的擴散爐,用於將氣體引入固體材料中.它是一種功能強大、用途廣泛的工具，能夠以固體單晶形式和薄膜形式將摻雜元素如砷和磷融入各種半導體材料的晶粒結構中。該系統由主爐單元、退火器和摻雜過程的關聯腔室組成。爐膛內襯石墨絕緣，退火器裝有石墨船底。通過空氣循環確保退火器中的熱均勻性。此外，該系統可以與熱壁或冷壁式霧化器相連接，以提高摻雜摻入過程的效率。該爐可以單級或兩級配置運行。在單級作業中，氣體被註入爐子的熱區，那裏的溫度達到1000攝氏度。然後將所得物質擴散到樣品材料中。在兩階段作業中，氣體物種首先註入溫度達150°CAE的爐冷區。這將摻雜劑定位到樣品的特定或多個熱區。在達到所需的摻雜劑定位水平後，熱區的溫度升高到所需的操作溫度，從而允許氣體物質擴散到樣品材料中。ETW-450配備了多種安全功能，以幫助確保安全的工作環境，如回填惰性氣體控制、監測溫度和壓力傳感器以及數字氣體控制。總而言之，該系統是將摻雜元素沈積到半導體材料中的一種高效、安全的方法。它的靈活性,加上可靠的性能,提供了優異的效果,並確保了制造過程中的可重復性。