二手 ASM SP 32 #9136879 待售

ASM SP 32是來自ASM International的退火擴散爐。它設計用於半導體器件制造，具有先進的工藝控制，以優化工藝性能。SP 32上的離散級面板訪問允許快速、精確地調整工藝參數。石英玻璃面板和內壁結合起來，減少了爐內的振動和熱梯度，提供了整個工作室的均勻溫度分布。大石英拼盤一次最多可容納四個8"或三個12"或2 15"晶片，用於退火和擴散過程。內部風扇提供湍流氣流，導致晶片的熱輪廓改善和加熱均勻。它還配備了多個氣體通道，可用於氣體輸送或其他功能。此外，石英零件可重復使用，在腐蝕性環境下具有足夠的耐藥性，可以承受長時間的操作。內置的可編程控制器具有用於自動過程控制、監控和全周期管理步驟的手動和自動模式。此外，溫度和操作參數可以保存在控制器中，以便於不同用戶之間的共享。標準型號的最高工作溫度為900°C，最大加熱速率高達150°C/min。該爐還配有一個可選的快速冷卻系統，以減少循環時間和便於加工熱敏感基板。ASM SP 32配備了單軸自動加載系統，適合全自動化的連續批量運行。接入板經過專門設計，可最大限度地減少傳熱，最大限度地減少顆粒沈積，確保高質量的結果。SP 32內置了多個安全聯鎖,以防止發生事故並確保操作安全。總體而言，ASM SP 32是一種可靠且高度精確的工藝，可用於擴散、退火或氮化多種半導體底物。憑借其高性能的可編程控制器和各種訪問面板，用戶可以輕松編程、監控和控制整個過程，以獲得卓越的性能。