二手 AGS LC-RIEL-HT #9182875 待售
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ID: 9182875
晶圓大小: 8"
Reactive ion etcher, 8"
Assembly:
Console
Chamber
Electrode, RIE10 with He BSC
Vacuum, HT / CVG / TP4
Pressure control
Plasma source, RF6
Power
Interlocks
Harness with serial IO
Facilities
Controller
IG
TCUX, 10-50C
Toxic gas pod
(4) 3x100sccm, 1x20sccm, MFC (Standard)
(2) Toxics, MFC
Loadlock
Lifter
Wafer clamp
Wall heater
Platen / Graphite
Lecture bottle stick:
(2) HBr, BCl3.
AGS LC-RIEL-HT是專門為高通量、低成本的生產應用而設計的精密速度蝕刻器/分心器。它旨在快速高效地去除金屬、塑料、玻璃、陶瓷等多種基板上的材料。LC-RIEL-HT是一種低成本、高生產率的解決方案。AGS LC-RIEL-HT具有高達250W脈沖等離子體能量的額定功率,用於精確控制,非常適合需要高精度和快速蝕刻的應用。等離子體室的設計確保了均勻的速度蝕刻以獲得一致的結果，並降低了基材不均勻蝕刻或燒傷的風險。該設備的低維護設計也節省了保養的時間和金錢。LC-RIEL-HT用途廣泛，可用於多種材料和工藝，包括反應性離子蝕刻（RIE）、深反應性離子蝕刻（DRIE）、濕蝕刻、氣相蝕刻（VPE）、化學機械拋光（CMP）和離子束銑削（IBM）。它也與各種不同材料的化學蝕刻溶液兼容。該系統還具有先進的安全功能,如過熱和電源故障保護,以確保安全運行。該腔室設計用於保持低工作壓力，以及提供出色的真空性能和汙染控制。蝕刻單元還具有保護操作員的外部安全開關，以及放熱反應警告。AGS LC-RIEL-HT具有功能強大、易於使用的控制面板。這臺耐用的機器包括觸摸屏面板和易於理解的菜單選項,並設置了用於快速準確蝕刻的參數。它支持多種基材尺寸，允許靈活裝卸。此外，該工具還設計有可移動腔室，便於清洗和維護。LC-RIEL-HT是一種可靠且經濟實惠的蝕刻解決方案,適用於需要精確快速蝕刻的各種生產應用。它提供快速、準確的蝕刻、高吞吐量和低成本的操作。它易於操作和維護,並具有先進的安全功能以確保操作安全。
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