二手 ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER 601E #184115 待售

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ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER 601E
已售出
ID: 184115
Etcher.
ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER 601E是為生產先進技術元件而設計的高精度蝕刻器/asher。蝕刻器設有一個真空處理室,溫度範圍為0°至+800 °C,壓力範圍為0 mbar至1000 mbar,最大真空水平為1x10-4 mbar。ADIXEN 601E配有等離子體源,可用於極高精度的介電和金屬薄膜的蝕刻和灰化。該蝕刻器提供等離子體源和腔室參數的精確控制,包括壓力、溫度、射頻功率和射頻/直流偏置功率。內置的可編程性還允許用戶自定義蝕刻/灰分過程,以達到所需的效果。ALCATEL 601E蝕刻器的人體工程學設計使其易於操作和集成到生產環境中。PFEIFFER 601E提供了與蝕刻/灰分工藝兼容的原位清潔功能。這有助於減少清潔晶片之間的腔室所需的時間,從而實現更高效的工藝。此外,蝕刻器還配備了先進的安全系統,可保護用戶免受輻射輻射的危險程度。601E蝕刻器是各種蝕刻/灰分工藝的理想選擇,例如介電蝕刻/灰分、金屬/介電蝕刻和灰分、硬掩模蝕刻和灰分以及氧化矽蝕刻/灰分。它能夠同時處理150 mm和200 mm晶圓,從而能夠以高精度對各種物體進行蝕刻和灰化。ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER結合了先進的蝕刻和灰化工藝、人體工程學設計和安全特性,601E高科技元件生產的理想選擇。
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