二手 ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER 601E #9197180 待售

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ID: 9197180
Deep reactive ion etcher (DRIE).
ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER 601E是一種為半導體晶片的物理和化學蝕刻而設計的蝕刻器/asher。它是一種惰性氣體等離子體增強蝕刻器,可以支持廣泛的晶圓加工氣體,包括氦氣、氫氣和氧氣。由於其高分辨率、可調整的時間和溫度控制,蝕刻器提供了晶片的均勻加熱和化學蝕刻。它具有多種優化操作的自動特性,包括用於精確氣體分配的多區氣體面板。ADIXEN 601E是一款功能廣泛的多功能蝕刻器。它可以支持具有可定制的時間和溫度設置的單個或多個晶圓蝕刻操作,從而確保不需要的材料的均勻高效去除。此外,蝕刻器還提供可調節的氣流和壓力水平,允許用戶根據自己的具體要求量身定制工藝。蝕刻器還配備了一個高分辨率、可調的目標模式發生器,每個晶圓最多可創建8個不同的目標。ALCATEL 601E易於操作,包括幾個安全功能。它配備了一個診斷顯示器,提供有關蝕刻過程的反饋,並允許無故障操作。此外,蝕刻器還包括一系列安全聯鎖和警報,在任何不適當的情況下提供視覺和聲音警報。其他有用的功能包括緊急關機按鈕和自動關機系統,以增強安全性。601E的設計符合最高的質量和可靠性標準。它由耐腐蝕不銹鋼制成,設有真空石英窗,可防止在長期操作過程中失去樣品完整性。它還設計用於在極端溫度和壓力條件下運行,使其適合廣泛的應用。此外,該蝕刻器的設計符合SEMI(半導體設備和材料國際)和其他行業特有的安全和質量標準的要求。
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