二手 ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER 602E #9144193 待售
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已售出
ID: 9144193
晶圓大小: 6"
優質的: 1995
Dry etcher, 6"
Volume production
Includes pumps
Cleanroom class: ISO 6 (LF ISO4)
(2) Chamber system with transfer chamber
(1) Dielectric-etch: CCP Coupled 13, 56 Mhz
Mask open etch and strip
(1) Deep temperature silicon etch chamber
With an ESC
Cassette to Cassette
Two etch chambers:
Kryo: Deep silicon
Harmask open
Running Sf6 at a very low temperature
Currently installed and stored in cleanroom
1995 vintage.
ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER 602E是一臺最先進的蝕刻機/asher機,能夠以最短的時間和精力對材料進行精密蝕刻和灰化。ADIXEN 602E被設計成一種高度可靠且功能強大的機器,具有方便的功能,使蝕刻和灰化過程比以往任何時候都更加容易。ALCATEL 602E具有高分辨率的石英晶體控制系統和不同形狀和大小的電極選擇。這允許在一系列材料中進行高度精確的蝕刻和灰化,例如玻璃、陶瓷和金屬。PFEIFFER 602E還能夠用不同的材料同時蝕刻和灰燼，這一過程有助於節省時間和精力。602E具有符合人體工程學的設計,可最大程度地減少操作員疲勞,並提供多種可調節的設置和選項。它還具有簡單的用戶友好用戶界面和精確的數字顯示,使操作員能夠輕松監控蝕刻和灰化操作進度。此外，ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER 602E具有安全功能，有助於確保操作員和材料的安全。ADIXEN 602E配備了先進的PLC系統，對蝕刻和灰化過程進行全面的控制和監控。這樣可以實現卓越的精度和統一的結果,同時保持高生產率。ALCATEL 602E采用耐用的鋼架和耐腐蝕部件構成，非常適合要求苛刻的連續使用。總體而言,PFEIFFER 602E是一款功能極其強大的蝕刻器/asher,可輕松提供精確而統一的結果。它設計用於可靠和高效的操作,具有一系列可調節的選項和安全功能。602E具有高分辨率的石英晶體控制系統和全面的PLC控制，非常適合快速、準確地蝕刻和粉刷各種材料。
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