二手 ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER AMS 200 #9173294 待售

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ID: 9173294
I- Speeder ESC with N2 liquid cooling SiO2 thin film etching, SiN, Si-DRIE, Pt sputter etching Manual load No atmospheric robot.
ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMS 200 蝕刻器/asher是一種精密工具,用於蝕刻或灰分到基板上。ADIXEN AMS 200是一種結合了預對準和邊緣放置、蝕刻和灰化技術的全自動系統。它是一種完全集成的蝕刻或灰化解決方案,具有無與倫比的精度和可重復性。ALCATEL AMS 200配備500瓦發電機和70毫米基板頭,能夠產生25至60毫米基板放置精度。基板頭由Sigma 5壓電電機驅動,這是一個精確的控制器,可確保基板的精確放置和對準。這樣可以確保各種基板的精確度和一致性。PFEIFFER AMS 200具有自動預對齊功能,可將每個基板對齊到預定或編程的起點。此外,為確保嚴格公差,預對齊軟件將基板頭置於定義的緊密間隔內,通常在0.6mm以內。AMS 200還具有高精度600瓦對焦透鏡,可提供極其均勻的高斯光束輪廓,用於蝕刻或灰化。鏡頭還允許各種焦距,以適應各種基材尺寸和材料。此外,鏡頭的垂直高度和角度可以調整,以匹配基板的高度。ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMS 200還包括一系列其他功能,以幫助減少基板損傷並允許快速周轉。機器以半自動模式運行,這意味著操作員可以在灰化或蝕刻周期中使用蝕刻器。此外,絕熱屏蔽包括在基板頭,以減少溫度波動和減少加工過程中的潛在損害。綜上所述,ADIXEN AMS 200為用戶提供了一個可靠、準確的系統,用於在各種曲面上進行蝕刻或灰化。它結合了預對準和邊緣放置、蝕刻和灰化技術、高精度Focus Lens和其他功能。這使得ALCATEL AMS 200成為精密蝕刻或灰化應用的絕佳選擇。
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