二手 ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER AMS 200 #9200581 待售

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ID: 9200581
I-Speeder DRIE of Si, SiO2, SiN Atmospheric robot Mechanical clamp.
ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMS 200是一款超高精度的自動化蝕刻器/asher。它旨在在廣泛的蝕刻表面提供幹凈可靠的蝕刻結果。ADIXEN AMS 200是傳統手工蝕刻方法的可靠且經濟的替代品。ALCATEL AMS 200具有通用、用戶友好的控制面板,具有直觀的操作和全面的過程控制功能。它允許用戶從定義蝕刻工藝的幾個參數中進行選擇,包括腔室壓力、工藝時間和氣流。控制面板還實時監控流程參數,方便調整流程以獲得最佳效果。PFEIFFER AMS 200采用內部設計獨特的石英腔室,在薄而厚的樣品上提供均勻蝕刻。石英室有一個橢圓形的橫截面,允許更好的傳熱均勻蝕刻。它還采用了使用多個電阻加熱元件的氣體分配設備,以確保均勻的熱量分配,從而更好地蝕刻。AMS 200還配備了兩臺真空泵,用於樣品抽取和樣品轉移.將真空泵隔離,使樣品可以獨立加熱,防止交叉汙染。這允許在室內僅存在蝕刻氣體的情況下進行控制蝕刻,從而產生更詳細的蝕刻表面。ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMS 200的溫度控制精確,可以10秒增量調節,最高溫度可達600 °C。它還包括一個高端冷卻系統,以確保室內精確的溫度控制。此外,排氣單元采用真空泵設計,消除了排氣的需要,使工藝更加高效。總體而言,ADIXEN AMS 200對於各種蝕刻表面而言都是可靠、經濟高效且可靠的蝕刻器/灰化器。其直觀的控制面板和全面的過程控制使得調整蝕刻參數以獲得最佳效果變得容易。其先進的石英室和真空泵,加上其強大的溫度控制和冷卻機器,確保精密和均勻的蝕刻與最小的維護。
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