二手 ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER GIR #9043921 待售

ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER GIR是一種幹法加工的asher，設計用於利用工藝氣體蝕刻矽片。它結合了高性能等離子體蝕刻技術和獲得專利的離子束驅動氣體輸送設備，對蝕刻過程提供精確的控制。ADIXEN GIR系統適用於處理直徑不超過6英寸的晶片，具有先進的工藝管理系統，周期時間短。全自動過程控制包支持高級蝕刻過程。該軟件包設計用於快速、精確和可靠地控制過程參數，例如過程氣體的流過。高級診斷程序使設備能夠快速檢測任何過程幹擾並進行校正,以確保沈積和蝕刻過程準確高效。ALCATEL GIR使用最先進的材料和組件構建。該腔室采用防反射玻璃制造，氣體封閉，以達到最大安全。精心選擇離子束源、真空泵、溫度控制系統等機械部件，保證高質量可靠性能。在加工晶片時，PFEIFFER GIR工具能以最小的屈服損耗取得高效率的蝕刻結果。此外,該資產的設計便於維護和快速維修周期,從而減少了此關鍵過程的停機時間。GIR為制造高度先進的集成電路（ICs）提供了一個理想的平臺,使其成為任何現代化蝕刻制造設施的重要工具。總體而言，ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER GIR asher是一款先進的等離子體蝕刻器，旨在精確控制直徑達六英寸的晶片的蝕刻過程。該模型將高性能蝕刻技術與自動化過程控制相結合，實現了高效可靠的處理。憑借先進的設備設計,ADIXEN GIR為蝕刻需求提供了可靠且易於操作的解決方案。