二手 ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER GIR #9092919 待售

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ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER GIR
已售出
ID: 9092919
Dry Etcher.
ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER GIR是一種高真空幹蝕刻設備,設計用於亞微米特征尺寸的先進工藝和反應性離子蝕刻(RIE)。該系統能夠深入蝕刻至0.01mm,精確度高達0.1mm。ADIXEN GIR單元還具有一個帶有四條氣體管線的氣體輸送機,允許不同的過程組合,如O2/CHF3和Ar/Cl2。ALCATEL GIR工具包括真空室、插入裝置、控制器單元和泵站。腔室裝有至少一個渦輪泵和一個旋轉葉片背襯泵,以達到10-6 mbar的所需真空水平。高性能的過程泵和渦輪分子泵浦資產一起保證了整個過程中均勻穩定的氣流。插入裝置允許將樣品安全地放入腔室,並設計為避免汙染真空室。過程氣體流經控制器,該控制器結合並表征了每個存在氣體的流速。然後將工藝氣體送入噴射閥,該閥允許均勻的氣體分配到工藝室內。GIR模型具有智能過程控制功能,可監視所有需要的參數,如溫度、壓力和可見性。使用直觀的圖形用戶界面可以用不同的蝕刻配方對設備進行編程。此外,PFEIFFER GIR包括一臺變頻射頻發電機,能夠提供20瓦的原位射頻功率來優化蝕刻工藝參數,以及一臺用於精確計量和定位的3D掃描儀。最後,ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER GIR蝕刻系統包括一個高級安全程序,以確保安全的操作環境。該單元內置溫度超限探測器,具有自動關閉功能,並為安全相關功能提供額外報警。ADIXEN GIR還包括一個內部火焰探測器。綜上所述,ALCATEL GIR是一款為亞微米特征尺寸蝕刻而設計的先進、高性能蝕刻機。它配備了多條氣線,為準確、安全的蝕刻過程提供智能過程控制。
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