二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 9500xR #9202423 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT 9500xR是為商用、半導體和研發應用而設計的高性能離子植入器和監控設備。它包括一個功能強大的高端離子沈積系統和一個實時的非接觸式離子監測器，以確保物料的均勻層。該單元支持各種植入氣體類型和能量水平，以適應任何應用。AKT 9500xR配備了一條多能量光束線，最多有12條光束線和兩個獨立的網格，可以容納多個植入層。柵格在晶片表面提供均勻的同時植入。植入物氣體種類和能量水平可根據預期結果進行調整。脈沖寬度也可以調整，以適應特定的工藝要求。對於快速、均勻的植入和層形成，AMAT 9500xR具有最先進的數字控制離子監測器。監測器連續測量樣品表面上的離子量，確保劑量盡可能均勻。該監視器還可自動在多個基板上進行均勻植入。9500xR旨在提供對流程參數的精確控制,允許用戶精確設置和控制所有關鍵流程步驟。它擁有先進的用戶界面，帶有液晶顯示屏和可選的觸摸屏技術。該接口可編程為顯示真空水平、基板溫度和離子監視器讀數等相關條件。APPLIED MATERIALS 9500xR旨在提供一致、可重復的過程結果。它還有一個自動化的流程記錄器模塊和一個可選的作業列表機，可用於存儲多個配方和重復精確的流程。還可以通過添加傳感器和氣體供料等附件來定制工具以滿足特定的客戶要求。最後,AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT 9500xR得到AKT技術支持和客戶服務的支持。