二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Quantum X Plus #9172233 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS Quantum X Plus
ID: 9172233
晶圓大小: 12"
High current ion implanter system, 12".
AMAT/APPLIED MATERIALS Quantum X Plus是一款高級離子植入器和顯示器,旨在優化半導體器件性能。它是專門為幫助設計半導體基板以達到最大電路性能而量身定制的。AMAT Quantum X Plus包含了許多功能,允許卓越的性能和對植入過程的控制。該設備包括一個完全集成的粒子加速器,能夠實現高達240 keV能量的離子,從而能夠高精度地植入矽基板。此外,該系統還采用集成精密光學對準和載波卸載裝置進行設計,以實現高效、精確的核心對準,從而獲得最佳的植入性能。該機可與AMAT植入哨兵II工具集成,測量植入的精確角度。該工具能夠利用不同的口罩和高精度和精確度來確保完美的對準和植入。APPLIED MATERIALS Quantum X Plus還配備了先進的Ultra-Sense植入和監控技術,使操作員能夠通過實時控制和監控所有關鍵植入參數來提升設備性能。Quantum X Plus上的氮冷磁控管源具有卓越的自動嚙合能力,提供業界最高的植入角度。這允許精確的植入物角度細到0.2毫米和高度可調的輪廓允許非常細粒度調整離子束能量和角度分布。AMAT/APPLICED MATERIALS Quantum X Plus可用於從矽到砷化的多種材料,並能提供其他工具提供的非常精細的顆粒摻雜和去除劑量。AMAT Quantum X Plus是一個完整的工具,旨在提供卓越的設備性能和控制。該資產包括一個強大的光束控制模型,具有離子束輪廓和通量監測功能。此外,APPLIED MATERIALS Quantum X Plus還包含一些其他功能,如實時過程監控、離子束功率和光束位置控制、顯式植入物速率調節以及光束調制功能。這些功能有助於設備自動化植入過程,確保高質量植入,減少周轉時間。Quantum X Plus是一款功能強大且用途廣泛的離子植入器和監控工具。該系統以集成的粒子加速器、精確的光學對準以及先進的超感植入和監控技術,設計出最佳的半導體器件性能。它允許操作員控制和監測各種植入參數,以便更準確可靠地植入,並且能夠植入各種材料,包括矽和砷化移量。這是一個偉大的選擇工程師尋求優越的設備性能和控制他們的植入過程。
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