二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Quantum X Plus #9185368 待售

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AMAT / APPLIED MATERIALS Quantum X Plus
已售出
ID: 9185368
晶圓大小: 12"
優質的: 2005
High current implanter system, 12" Single wafer Energy option: LEAP Ultra low (0.2-80 keV) Stand-alone system enclosure Signal tower: Front / Back tool Processor: ISPM Processor Isocentric scanner Beamline: Ultralife QX+ ion source G1 Electrode: Graphite Gas panel box: Argon system and gas purge TEM Vacuum: LEYBOLD Turbo pump (3) Cryo pumps SPECTRA Residual gas analyzer (RGA) MMTX Transformer Gas panel: 8-Position: AsH3, PH3, GeF4, BF3, SiF4, CO2, 2-Blank Wafer loader: 4 Station SEMI standard wafer loader Hermos tag reader SEMI E84 OHT PIO Kits Low backside particle vacuum end effectors 2005 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Quantum X Plus是一款最先進的離子植入器和顯示器,旨在幫助制造商實現最優質的離子植入。該設備通過其獲得專利的離子輸送和控制設備、精確的能量水平設置以及在線監測劑量率,提供了卓越的性能。它還提供了更高的系統可靠性和魯棒性,以及比傳統離子植入器更好的性能。AMAT Quantum X Plus'離子輸送單元允許將離子輸送到非常精確控制和精確測量的目標底物。這臺機器采用了四極設計,使離子能夠聚焦並精確地對準目標基板。這確保了離子被精確地定向到需要它們的地方,並達到所需的濃度。此外,APPLIED MATERIALS Quantum X Plus利用可調節的能級設置,確保離子以所需的能級進入目標基板,從而更好地控制植入過程。Quantum X Plus的在線監測工具使得能夠實時監測劑量率和底物覆蓋率。這確保了離子植入過程在進行過程中得到優化和監測。它還為制造商提供關於使用不同植入劑量和能量水平的有用信息,使他們能夠在需要時對植入過程進行必要的調整。AMAT/APPLIED MATERIALS Quantum X Plus優越的冷卻資產進一步增強了其魯棒性。制造商在設備中部署了先進的冷卻器,這些冷卻器旨在保持設備溫度降低,確保離子在植入過程中保持聚焦和穩定。該裝置還采用了獨特的主動移位模型,繼續監測手術期間的劑量率和底物覆蓋率,使植入過程保持穩定和準確。總之,AMAT Quantum X Plus是下一代離子植入器和監視器,提供了改進的性能,更高的設備可靠性和魯棒性,以及精確的能量水平和劑量率監測。它的離子輸送和控制系統、可調能級、在線監控、強大的冷卻單元等各種組件,都有助於優越的離子植入過程。
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