二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Quantum X Plus #9194446 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Quantum X Plus是一種下一級離子植入設備,旨在提高設備制造中要求最苛刻的應用的吞吐量和準確性。AMAT Quantum X Plus利用其高效的植入引擎,提供了基於經驗的快速精確的離子軌跡預測,從而在高級設備體系結構中實現了更好的電荷狀態分布。APPLICED MATERIALS Quantum X Plus以其前輩Quantum和Quantum II的成功為基礎,獲得了更高的工藝室級可靠性,並提供了更高的強度,以獲得更好的結果,並具有較小的閘寬。該系統在設計時考慮了靈活性和精確度，使操作員能夠進一步優化其工藝參數，從而在制造下一代半導體器件時達到高性能效果。Quantum X Plus利用先進的雙光束單元，既有單能量光束，又有鳴叫光束，可以控制能量和劑量，同時保持均勻的劑量率或所需的輪廓。該機能以高達350 KeV的能量運行，具有100至2000的質子束電流範圍。復雜的劑量剖面可以通過多達11個傾斜軸向臺階和8個傾斜返回軸向臺階輕松編程到工具中。AMAT/APPLICED MATERIALS Quantum X Plus具有電荷底物偏置資產，以確保無論其初始電荷如何，離子在底物的每一點均勻沈積。該車型還配備了無凍原、水冷的冷凍室。這個先進的腔室減小了組件的大小和數量，為實際的植入器腔室節省了寶貴的空間。此外，多軸離子輔助噴嘴增加了預定義的離子，並設計用於增強控制操作。設備還配備了先進的監控系統。AMAT Quantum X Plus顯示器能夠實時收集數據,允許用戶在盡可能短的時間內跟蹤進度和故障排除。此監視器還提供端幀監控、壓力配置文件和流體管理等功能。APPLIED MATERIALS Quantum X Plus還配備了一個傳感器陣列，使其能夠在潛在問題發生前進行檢測。此外，系統的控制系統為晶圓映射和工藝優化提供了強大的過程控制和軟件。所有這些進步使Quantum X Plus成為改進設備制造過程的強大而可靠的儀器。它簡化更換和維護可顯著減少停機時間,從而提高生產效率、提高流程靈活性和降低擁有成本。它是設備制造的終極單元，是先進設備制造應用的必備設備。