二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Quantum X #9190767 待售

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AMAT / APPLIED MATERIALS Quantum X
已售出
ID: 9190767
晶圓大小: 12"
Ion implanter, 12".
AMAT/APPLIED MATERIALS Quantum X是一款先進的離子植入器和顯示器,旨在提高現代半導體制造的生產率。它結合了離子植入技術和最先進的控制系統的最新進展,提供了卓越的性能和前所未有的工藝控制水平。AMAT Quantum X在等離子源和電離室中都利用了超熱磁控管。超熱磁控管允許恒定的電離溫度,增加的可控性和速度,以及對離子束的角度、數量和擴散的精確控制。這保證了更一致的離子註入結果和更緊密的離子束輪廓比以前的系統。應用材料量子X利用高精度機械臂改進基板處理系統。憑借其先進的機器人技術和控制系統,它能夠改變植入物的位置和路徑,幾乎不需要重新校準的時間。這也減少了設置時間,並消除了與人工離子植入有關的錯誤或其他錯誤的可能性。量子X配備了最新的控制系統和廣泛的自動化設置。這樣就可以設置和監視高級工藝參數,同時確保只生成質量最高的樣品。該系統能夠運行多個植入程序,每個程序都能處理捆綁和分割劑量的樣本。該系統還允許植入材料的多個提供者,允許靈活地選擇所使用的材料。AMAT/APPLIED MATERIALS Quantum X旨在提供高效、經濟高效的植入過程,以及過程控制和監控的綜合平臺。其先進的自動化和過程控制系統,加上卓越的性能和處理多個過程的能力,使得AMAT Quantum X成為現代半導體制造的領先選擇。
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