二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Quantum #9187369 待售

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ID: 9187369
Implanter chassis P/N: 9090-00803 9090-00827 9090-00923 ITL 9090-00961 9090-00456 9090-00859 9240-04325 0090-91694 9240-04327.
AMAT/APPLIED MATERIALS Quantum是一種離子植入器和監控器,用於半導體工業。用於在制造過程中將離子植入半導體材料,以達到所需的電性能。該設備能夠植入深度達48厘米的離子,可用於各種半導體工藝,包括離子植入、快速熱退火和類似金剛石的塗層。AMAT Quantum可以植入半導體技術中使用的大多數常見離子,如硼、磷、氮、氧等。它具有可調束能量和可調束電流,可以賦予能量在0.1到10 MeV之間的電子。植入器還可以處理高溫退火過程,溫度高達1000攝氏度。APPLIED MATERIALS Quantum也作為監視器來監視植入過程。系統監視諸如光束電流、光束電壓、光束點尺寸和光束尖端尺寸等參數。它還有一個多通道信號采集單元,用於測量植入的離子。此外,它還可以測量離子電荷狀態,允許用戶相應調整植入參數。量子極為人性化,具有2-D視圖端口,允許實時觀察植入過程。植入器還具有直觀的圖形用戶界面,便於操作和監控。該機采用現代數據采集和分析技術,實現了植入過程的精確測量和控制。總體而言,AMAT/APPLICED MATERIALS Quantum是一種先進且功能強大的離子植入器和監控器,可用於各種半導體生產過程。它提供了可調的波束能量和電流,以及多通道信號采集和監控系統,允許用戶在植入過程中擁有最大的控制和準確性。它還具有直觀的圖形用戶界面,便於操作和監控。
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