二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Solion XP #9171473 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Solion XP是一種離子植入器和監視器，可以改進過程控制和更高效的植入。它利用一個專利的寬掃描水平磁控管離子源，保持穩定的輸出範圍在整個植入物範圍內導致mroe一致的劑量控制。AMAT Solion XP是多耗盡和高劑量率系統以及連續可變劑量率應用的理想選擇。該設備還允許多個離子劑量的應用，允許精確的劑量率和均勻性。APPLICED MATERIALS Solion XP的自動化控制功能包括用於評估光束特性的光束特性監視器,包括光束質量、汙染程度和光束輪廓。光束電流監測系統允許以0.2納米安培/cm2到更高電流的速率精確控制植入物劑量。利用這些傳感器，Solion XP可以自動編譯一組光束參數，如偏轉器設置、光束電流和光束發射強度。離子植入器采用先進的光束掃描裝置和多軸偏轉器，提高了均勻性。為了提高安全性，AMAT/APPLIED MATERIALS Solion XP使用緊急停止和故障安全機器在緊急情況下關閉光束。它還有一個內部真空泵，有助於降低汙染水平。作為附加的安全功能,AMAT Solion XP包括一個光學互鎖工具,可在打開機櫃時關閉光束。APPLICED MATERIALS Solion XP包括全系列的自動溫度和壓力控制系統，包括PID控制的加熱器、自動零壓力調節器和溫度控制器。氣流控制資產可以提高植入重元素的精度，並在延長植入時間內保持光束。除了離子植入功能外,Solion XP還包括其他功能,可進一步增強其過程控制和生產率。核監測模型與輻射屏蔽和安全機制相結合，以檢測低能X射線輻射。此外，AMAT/APPLICED MATERIALS Solion XP提供了評估腔室部件性能和評估植入物質量和均勻性的診斷能力。與光束監測系統緊密耦合的射頻監測設備監測植入的能量水平，而實時數據記錄系統和批記憶記錄單元則確保所有植入參數的準確記錄。總體而言，AMAT Solion XP的先進特性使其成為改善離子植入過程中劑量控制、均勻性和安全性的理想選擇。