二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Vista 810 #9187815 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Vista 810是一種離子植入器和監控工具，專為高級半導體處理而設計。它是一種高效、準確的設備，用於將摻雜劑植入矽基板，並提供實時的過程控制。AMAT Vista 810配備了氮氣（N2）、膦（PH3）和矽烷（SiH4）三氣源植入底物。它還利用具有兩個微型法拉第杯的高精度光束電流測量設備，能夠達到電流分辨率和靈敏度高達0.5pA，從而能夠精確控制離子密度、角散度和橫向擴散。此外，由於其高達50mA的高平均束電流，與傳統植入物相比，它可以以明顯更高的劑量率運行。APPLIED MATERIALS Vista 810還具有自動化晶圓處理系統和集成激光散射計（LSC）單元,可提供高度精確的實時過程控制。LSC機器允許用戶在層深、均勻性和輪廓精度方面監控植入過程。此外，它還包括一個集成的多通道數字整形工具，能夠精確控制能級、劑量和植入物角度。Vista 810還具有高級分析工具,例如數據歸檔資產和流程建模手段,以便用戶能夠準確預測和監控機器性能。這種全面的數據分析允許用戶優化層深、均勻性、輪廓精度和汙染,而基於模型的集成控制模型則確保了最佳的機器性能。總體而言,AMAT/APPLICED MATERIALS Vista 810是一款極其精密、可靠且精確的離子植入器和顯示器,專為高級半導體處理而設計。它提供卓越的性能和令人印象深刻的一系列過程控制功能,使用戶能夠準確地植入摻雜劑並監控植入過程,其結果具有很高的可重復性和可靠性。