二手 AMAT / APPLIED MATERIALS xR80 #9197630 待售
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ID: 9197630
High current implanter, 8"
P/N: 0240-94906
Main system: xR-Leap
SMIF System: LPT 2200
Hardware configuration: NOVAPURE Effluent gas scrubber EGS-237
Automated control system
MOTOROLA 68040 Processor (VME) with fiber optic isolation
Automatic recipe controlled: 0°-7° (Tilt operation)
IHC Source (Module and control)
Leap II Beamline
HDPFS
Tetrode extraction assembly
Dual extraction PSU
Ion source with G2 extraction
Leap II control chassis and leap II beam stop
Dual range analyzer mag PSU
Leap II source chamber exit aperture
Wafer orienter: Notched wafers
Low metal contamination
Silicon coated spoke process wheel with active wafer cooling
Vacuum load lock compatible with robotic loading systems
Automated cassette - cassette handling with slot integrity ((3) Cassette trays, 8")
(2) Light-pens, 17" SONY color terminals
Closed loop Dl water cooling system
Cryo compressors located remotely
Mains matching transformer
Rear cyro pump lift
Peek scan cover
Arm position sensor kit
Wafer handling and wheel, 8"
4 Position SDS gas box
CT 110" Onboard cryos with CTI 9600 compressors
LEYBOLD Turbo pumps
SECS II Host computer interface
Cooling system: Heat exchanger / Closed loop de-ionized water cooling system
Wafer loader: (3) Carousel paddles
Wafer orients: Batch notch orient
Wheel chamber: (17) Heat sinks, 8"
Control system: Fiber optic communication network
Control module: VME Microprocessor
Plasma flood gun: HDPFS
Beam line: IHC
Gas panel option: SDS Toxic gas modules for AsH3 and BF3
Tilt: Variable implant angle, ±10°
Hard disk: 4 GB
RAM: 128 MB
CIM Linked
1996 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS xR80是用於制造半導體材料的離子植入器和監測器。它被設計為提供精確和可重復的離子植入與各種各樣的底物，從矽，的，和砷。AMAT xR80是一種高精度、高通量的離子植入設備,具有高度的靈活性,可適應一系列客戶應用。APPLIED MATERIALS XR 80的主要部件是其離子源，既能進行單束植入，又能進行多束植入操作。這允許用戶在保持高度精度和精確度的同時，最大限度地提高離子束吞吐量。此外，離子源的功率範圍可以達到80kV。有了這個功率範圍，AMAT XR 80可以植入能量水平非常精確的離子。XR 80的離子束輸送系統是為保證高精度和精確度而設計的。這是通過使用自動光束對準、光斑尺寸調整和激光光束分析系統來實現的。利用這些特性,無論植入的基板材料如何,APPLIED MATERIALS xR80都能保持非常精確的光斑尺寸和光束對準。AMAT/APPLIED MATERIALS XR 80還包括內置的敏感束電流監測器和離子劑量監測器。這允許用戶實時監控其離子植入過程，確保準確性和可重復性。XR 80還配備了先進的安全裝置,包括低能量截斷、光束中斷和運行結束報警器,以保護過程和被植入的基板。這使得AMAT/APPLIED MATERIALS xR80半導體制造的絕佳選擇，因為它可以為植入離子提供安全和受控的環境。此外，AMAT xR80帶有直觀的圖形用戶界面，方便用戶對機器進行編程和維護。該軟件允許用戶執行快速計算、優化配方以及訪問相關數據歷史記錄。這使得APPLIED MATERIALS XR 80成為一種非常用戶友好的工具,可以輕松集成到現有的制造過程中。總而言之，AMAT XR 80是離子植入器的絕佳選擇。它具有高度的精確度和靈活性，為用戶制造半導體材料提供了可靠、安全的工藝。通過直觀的圖形用戶界面和強大的安全功能，確保了高水平的可重復性和可靠性。它能夠容納各種基板，使其成為一系列應用的理想工具。
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