二手 AMAT / APPLIED MATERIALS xR80 #9198969 待售

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ID: 9198969
Implanter Dual bellows extraction assembly With MRS assembly.
AMAT/APPLIED MATERIALS xR80離子植入器和監控器是一種靈活、可靠且經濟高效的離子植入工具,可用於生產各種半導體器件。AMAT xR80以其獨特的高吞吐量、高精度、低成本和可靠的結果相結合,為各種制造要求提供了出色的平臺。APPLIED MATERIALS XR 80的主要部件是主單元、電子槍、腔室、疏散設備、控制界面和粒子探測器。XR 80的主單元由真空室、電子槍組成。電子槍負責產生能被室內受控裝置獲取和操縱的離子束。這是通過控制和改變離子束的能量和深度來完成的。AMAT/APPLICED MATERIALS XR 80的腔室內有許多負責生產和監測離子束操作的元件。這些包括電子透鏡、數字控制器、離子監視器檢測器和光束捕獲系統。所有這些元件協同工作,產生一系列高度精確的離子束圖樣,可用於精密切割和操縱半導體基板。疏散單位負責維持室內真空。該機器能夠產生適當操作應用材料xR80所必需的真空水平,並且在引入基板時可以密封腔室,以確保最佳的光束操作和操作結果。AMAT XR 80的控制界面為用戶提供了一個圖形用戶界面,即GUI,可以用來監控光束特性,監控工具性能,以及控制設備操作的各個方面。此接口還允許通過測量值、探測器反饋和計算機網絡的其他反饋對xR 80的操作進行外部監控。AMAT/APPLIED MATERIALS xR80的粒子檢測器負責偵測因離子束結構不規則而可能發生的任何雜散粒子的存在。這對於控制關鍵應用中的離子束參數尤為重要。該探測器能夠檢測束雜質、小顆粒,還能夠識別雜散顆粒的發射。最後,AMAT xR80離子植入器和監測器是生產和操作半導體器件的絕佳工具。它具有可靠的性能、高吞吐量和低成本的獨特組合,是許多制造應用的理想選擇。此外,人性化的控制界面、可靠的疏散資產以及粒子探測器,使得APPLIED MATERIALS XR 80成為任何半導體生產設施的絕佳補充。
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