二手 BSL / BETA SQUARED LITHOGRAPHY PE 600 #9157842 待售

BSL/BETA SQUARED LITHOGRAPHY PE 600是為高精度光刻設計的最先進的掩模對準設備。系統圍繞一個4軸級構建，加上大真空和壓力室。高分辨率數碼成像單元將3000萬像素工業CCD相機與精密鏡頭相結合，達到高水平的對準精度。該機器能夠對準和解析低至0.1微米的特性,精度為30 nm （3 sigma）。此外,BSL PE 600還配備了一個加熱的靜電卡盤和真空卡盤,能夠將溫度控制在0.5C內,使該工具成為蝕刻和曝光時間敏感過程的理想工具。此外，資產還配備了能夠自動對齊和成像的軟件，使用戶能夠獲得精確和可靠的結果。BETA SQUARED LITHOGRAPHY PE 600是一款先進的掩模對齊器，旨在滿足半導體制造的要求。其高度通用的設計提供了一系列曝光選項,包括常規接觸打印、近距離打印和各種其他形式的圖樣傳輸。此外，其先進的成像和對準模型使復雜結構的高分辨率圖樣化成為可能。最後，設備的高精度級和溫度控制能力使其成為蝕刻和沈積工藝的理想選擇。PE 600具有高精度和先進的特性,是精密的掩模對齊器應用的理想選擇。