二手 CANON MPA 3000W #9196898 待售

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ID: 9196898
晶圓大小: 2"
優質的: 1999
Mask aligner, 2" Glass size: 370 x 470 mm CM Box CF Box Console box Blow lonizer set Duct set 1999 vintage.
CANON MPA 3000W Mask Aligner是為生產半導體器件而設計的高精度、先進的器件。它能夠進行精確到亞微米水平的曝光過程。兼容6英寸和8英寸晶圓尺寸,機器的最大鉛框數為一千個,對準精度為2至8微米。該機具有最先進的設計,效率高,產生較快的循環時間。配備了位置和位移節點兼備的高速機械標記設備。曝光系統由全遠心光學和半導體激光器組成。要曝光的物體放置在一個X-Y定位器上,將一個標線罩放置在光學單元中,使標線上的微米圖樣與晶圓上相應的圖樣對齊。CANON MPA-3000 W還具有幾個功能,旨在幫助實現性能最大化和提高準確性。其中包括允許用戶編程晶圓和標線坐標的觸摸屏控制,以及可編程曝光角度。晶片級設有開放式封閉式支撐機,確保表面觀察穩定,改善晶片氣流。掃描儀支撐有一個獨立的真空控制工具,引導掃描機構,包含一個可調的間距。此外,MPA 3000W有一個溫度控制的氣體循環室,旨在最大限度地減少溫度變化的影響,並在整個暴露過程中保持一致的氣氛。相機資產采用可編程快門模型和直接圖像數據傳輸功能,允許用戶在繼續曝光過程前驗證對齊結果。總體而言,MPA-3000 W Mask Aligner是一種具有驚人功能和可靠性的技術設備。其循環時間快、精度高達亞微米級,是先進半導體器件生產的理想選擇。其眾多的特性和功能幫助它滿足各種研究和生產需求,讓用戶總能取得最佳的結果。
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