二手 CANON MPA 500 Fab #9193702 待售

CANON MPA 500 Fab是一種全自動、高吞吐量的晶圓級掩模對齊器，旨在提供各種晶圓尺寸和應用的設備的最佳生產。該設備采用CANON專有的MPA Fab技術，能夠高精度地對極小的特征尺寸進行光刻和對準。CANON MPA 500FAB具有高通量生產過程,可提供高對齊速度精度和吞吐量以及無與倫比的精度。其先進的飛行激光對準系統（FLA）提供了具有標準掩蔽數據的激光突出晶片特征的快速、精確對準，紅外激光成像技術以高分辨率準確捕獲了對準目標和掩蔽數據。該裝置的特點是有一臺精密的成像機器，從掩模內檢測對準目標，並補償視場中的任何不均勻性。該工具還可以配置多掃描選項,以快速進行單次曝光。該資產還具有超短脈沖持續時間激光二極管曝光系統，可提供對特征細節的精確控制。其可調波前傳播保證了激光曝光的精確控制和均勻性。MPA-500FAB還提供了專用的抗蝕劑塗層模型,可確保多晶矽、ITO和有機聚合物等多種材料的電氣成像條件。總體而言,MPA 500-FAB是一種超快速掩模對齊器,旨在提供精確和高精度的光刻工藝。其獨特的功能集使其能夠高效、準確地生產各種晶圓尺寸和應用的設備。這些設備可以很容易地集成到現有生產線中，以提高生產率和節省成本。