二手 CANON MPA 600 FA #9200847 待售
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已售出
ID: 9200847
晶圓大小: 6"
Aligner, 5"-6"
Oscilloscope: TEKTRONIX TDS 3012 (Auto alignment signals)
IUC Meter: IUC- M3S
Double / Single indexer
Scan motor
Auto hand turn (unlock like turn table)
Glass wafer & chuck, 6"
LED:
For flat finder with high bearing, 6”
Observation light in alignment scope
Extension cable:
Automatic alignment PCB: 4 x 60 pin
PCB 17 / 18: 2 x 50 pin
Camera / Monitor observation system
Laser adjustment tool
(4) Spare foots
Tube for fill cushion foot
Lamp
Vacuum pump
(2) BD0-5200
BD1-3294
(2) CTC / TDC
(2) Long cables with sensor
Cover with powder coating
Light condition:
Input: 1800 W
Output: 700 mW / cm2 for 1.6 mm slit
Manual included.
CANON MPA 600 FA是一種先進的用於基板微和納米陣列的掩模對齊器。它旨在實現電子設備和納米結構基板的高精度制造。該設備利用X-Y步進電機驅動單元來精確定位基板相對於具有納米控制的標線（掩模）。標線安裝在玻璃卡盤中,在X和Y方向上均可調節至+/-18mm。內置激光幹涉儀測量卡盤相對於已知參考點的亞微米位置變化。此功能可確保非常精確的對齊,並提供一致的配準,使系統非常適合關鍵應用程序。CANON MPA600FA采用先進的接觸曝光方法，以確保高分辨率打印，最小特征尺寸為0.3微米。該單元先進的光學機器允許可變聚焦和可調光學濾鏡，以提高圖像質量。光路由一個冷凝器、瞳孔和物鏡組成，所有這些透鏡都經過優化，以達到最佳的光學性能，並在曝光過程中通過改變光的強度和截面來進行修改。石英標線架的設計是為了最大限度地減少顆粒汙染和最大限度地減少定位誤差的最高質量的光刻圖像。MPA-600FA配備了專用的400W氮輻射爐，簡化了微型化過程中的退火過程。它采用自動溫度控制和可調節的氧氣流率進行精確的溫度分析。此外，該工具能夠處理直徑達300毫米的大型基板。該資產配備了基於配方的設備控制綜合模型軟件包。它簡化了編程並提高了生產率。該軟件可實現自動調整、曝光和開發,使用戶能夠專註於研究而不是繁瑣的系統操作。MPA-600 FA是一種先進的掩模對齊器，提供納米精度和優越的光刻圖像質量。它易於操作，可用於各種微觀和納米模式的應用。
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