二手 ADE / KLA / TENCOR AWIS Constellation #9190875 待售

ADE/KLA/TENCOR AWIS Constellation是為半導體生產而設計的掩模和晶圓檢測設備。它是用於分析各種晶圓幾何、缺陷和其他特征的工具。系統使用自動缺陷審查、晶圓驗證、過程控制和缺陷審查功能來確保高精度。該單元由一臺高分辨率、自動檢測機、ADE AWIS星座平臺和各種工具組成，可用於數據分析。KLA AWIS Constellation Platform是一種高速掃描工具，可以檢查高端特性，以便檢測和測量可能存在的任何缺陷。資產能夠檢測晶圓表面上的小缺陷,如亞微米缺陷,以及任何與設計模式不一致的特征。利用TENCOR AWIS Constellation Platform，該模型執行自動缺陷審查、晶圓驗證、平衡分析和缺陷驗證，為用戶提供有關晶圓內缺陷的高度詳細信息。該設備還包括一個基於Web的Web瀏覽器工具，使用戶能夠快速比較、解釋和共享結果。該系統還包括一個光譜樣本庫，可以用來根據它們的行為和發生來預測未來的缺陷。該單元還可以使用預定義的模型光譜剖面來檢測和表征難以找到的特征和異常。此外,該機器還提供了缺陷消除、缺陷檢查、缺陷級別控制以及缺陷特征檢測和測量的指標。對於高級用戶來說，該工具包括支持3 D蒙版檢查和晶圓檢查的高級功能集，具有多個照明角度、自動缺陷分類和粒子缺陷分析，以及缺陷3 D重建。最後，該資產與一系列半導體器件制造工藝兼容，使其成為一種多種器件制造的多合一掩模和晶圓檢測解決方案。此外,該模型經過認證並獲得了全球業界的認可。AWIS Constellation的綜合功能集是半導體器件制造過程中管理和檢驗晶圓特性的重要工具。