二手 VG SEMICON / OXFORD V90 #9200463 待售

VG SEMICON/OXFORD V 90是專門為生產集成電路、光電元件和其他復雜納米結構材料而量身定制的分子束外延設備。該系統具有高增長率、極低溫度和精確控制生長參數的能力。它可以承受長時間的運行,而且維護要求極低。該單元包含一個超高真空室、一個源室、一個樣本室和一條梁線。超高真空室允許金屬和其他材料在10-9至10-10 Torr範圍內的極低真空壓力下沈積。機器的源室末端裝有槍，或稱源，將被沈積的材料霧化，然後彈射到主室。樣品室包含加熱的矽片，它被放置在光束線以下的支架上，是目標基板。使用高壓動力監視槍測量入射到樣品支架上的分子束。然後可以精確調整支架的位置和梁的角度,從而確保樣品表面的均勻覆蓋。然後通過一系列的擋板對梁進行衰減，這些擋板優化了被沈積材料的生長速率。該工具還能夠創建高長寬比結構，包括對生產先進電路和光電元件具有重要意義的vias和其他各種結構。這是通過采用三種不同的生長技術來實現的：層轉移、調制外延和原子層沈積。層轉移涉及將層從生長基板轉移到要陣列化的基板上。這是通過施加局部電場來完成的，該電場將材料從生長基板提升到目標基板。調制外延確保每一層由單獨的原子組成，消除任何排斥力，通常會發生在相同類型的原子之間。最後，原子層沈積涉及原子層的一個接一個的沈積，以建立復雜的結構。OXFORD V 90取代了傳統的矽生長方式，允許生產更復雜的電子元件和結構，對增長率、溫度、成分等參數有更大的控制。通過使用VG SEMICON V 90，用戶還能夠降低與生產納米圖案材料相關的成本，減少生產復雜結構所需的時間。