二手 VG SEMICON VG80 #9193894 待售

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ID: 9193894
MBE System Manipulator, 3" Rheed Metallization chamber (2) E-beam sources Included: Manipulators Transfer mechanisms AGER Spectrometer.
VG SEMICON VG80是用於半導體材料和器件生長的最先進的分子束外延(MBE)設備。MBE是一種復雜且廣泛使用的需要高真空條件的薄膜沈積技術,可防止任何氣體幹擾沈積過程。VG80是要求苛刻的工業環境的理想選擇,因為它在低能耗的情況下運作,並且有幾種優化過程穩定性、質量和產量的選擇。這個系統可以使用電子或離子轟擊和激光退火處理高達1,050 °C的高溫底物。它還包括一個超低壓沈積前階段,可以將氧氣和水蒸氣的分壓降低到超低水平。VG SEMICON VG80包括廣泛的氣源,包括氫氣、氦氣、氮氣、一氧化碳和六氟化硫,以及其他一些可選氣體。VG80可實現的最小特征尺寸約為5nm,配備了先進的原位等離子體源和高分辨率表征工具。VG SEMICON VG80能夠提供出色的均勻性和平滑界面,這對於制造光電器件、FET和其他納米結構至關重要。該單元由一個功能強大和復雜的軟件套件控制,該套件設計用於材料的自動沈積、表征和屈服分析。除了沈積過程控制外,VG80還具有強大的均勻性和純度控制操作能力。最後,VG SEMICON VG 80的高級安全功能(如緊急過程停止和過載保護模式)使其成為市場上最可靠、最強大的MBE系統之一。VG80具有廣泛的特性和功能,是LED、智能顯示器和攝影等應用的理想選擇。它是制造半導體產品和器件的可靠、強大的機器。
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