二手 AKRION GAMA #9154699 待售

AKRION GAMA （Generic Advanced Metrology Analyzer）是一種針對微電子工業中廣泛的非接觸式計量應用的精密解決方案。利用先進的掃描顯微鏡技術，該設備能夠以高精度和高精度測量廣泛範圍的晶圓參數。GAMA專註於邊緣和距離檢查、步高、平坦度、大小、形狀識別、厚度、共面度、表面檢查等參數。該系統無破壞性，采用遠心光學單元，以最小的漂移確保整個晶圓的精確測量。利用激光掃描和幹涉技術，AKRION GAMA在一次掃描中對整個樣品進行3D地圖測量。這使得能夠以高度的置信度分析特征，例如檢測顆粒汙染。GAMA由用戶友好的控制模塊、自動晶圓處理機、高分辨率成像工具和樣品定位資產組成。控制模塊基於PC,獨立運行,允許對整個型號進行智能控制。自動晶圓處理設備可以處理多種尺寸的300毫米晶圓。高分辨率成像系統的軸向分辨率為0.5微米，能夠在一次掃描中獲取多達100萬行圖像數據。樣品定位單元可實現亞微米精確測量。通過一個自動校準例程來確保樣品的對齊，該例程掃描整個晶圓周圍的幾個量規點。機器可以測量任何無損樣品，只要它符合標準樣品持有者。AKRION GAMA附帶強大的數據處理和分析軟件。該軟件可用於可視化、分析和報告大小樣本的結果。該工具還包括特定於GAMA的腳本,允許用戶自定義軟件以適應其特定的應用程序和要求。AKRION GAMA為廣泛的晶圓加工應用提供了強大、準確和可靠的解決方案，從基板識別和測量到先進的粒子檢測和故障分析。其靈活的配置和自動化的控制使得GAMA成為任何晶圓處理需求的理想選擇。