二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Hart AP #9177828 待售

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AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Hart AP
已售出
ID: 9177828
晶圓大小: 12"
Deep trench etch's, 12".
AMAT/APPLICED MATERIALS Centura Hart AP反應器是一種專為光敏灰化和反應性離子蝕刻應用而設計的半導體蝕刻設備。這種化學惰性系統為蝕刻選擇性要求提供了較高的吞吐量和精度。它是一個多合一單元,旨在降低資本和運營成本,同時提高準確性和準確性。AMAT Centura Hart AP反應器的蝕刻室由鋁保護不銹鋼構成,提供最大強度和長期耐用性。該機先進的設計具有密封室、兩端電極、可調電極間距等特點。這些特性結合在一起可以實現均勻的蝕刻過程,具有可調氣流和腔室壓力控制。應用材料Centura Hart AP反應器具有精確蝕刻極薄層材料的能力。它以手動或自動化模式運行,經驗證可重復性為0.01微米,溫度範圍為-79°C至38°C。此外,它的內置電阻率傳感器提供了對蝕刻過程的精確控制。反應堆還具有直觀的用戶界面,使用戶能夠實時監控過程。先進的軟件允許用戶從異地界面控制和調整腔室壓力、氣流和電極間距。此外,此軟件還包括高級安全控制和內置蝕刻配方,從而便於切換或調整工藝參數。Centura Hart AP反應器是一種強大的蝕刻工具,旨在滿足最苛刻的光刻和反應性離子蝕刻應用。該資產由鋼結構而成,具有極高的精確度,能夠制造出極薄的層。直觀的用戶界面和先進的安全控制使其易於操作,隨附的軟件提供了多種蝕刻配方。此模型提供了最高的準確性和吞吐量,同時降低了資本和運營成本。
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