二手 ADVANCED SPIN SYSTEM INC / ASSI SV-702 #9132537 待售

ADVANCED SPIN Equipment INC/ASSI SV-702是一種專門用於半導體晶片處理的光阻系統。是光敏技術領域的持續創新。該裝置旨在優化光刻膠工藝的精度和吞吐量，大大降低晶圓對準誤差。這臺機器的核心部件是它的旋轉塔，它可以讓工具達到高速和精度。該塔配備了先進的CCD相機資產，精確對準並均勻地將光刻膠分布在晶圓上。還包括一個數字濾波模型，以提供最佳晶圓處理結果。ASSI SV-702效率高,最大旋轉速度為3500 rpm。它能夠在光致抗蝕劑到達晶片邊緣時自動停止運動，確保施加在晶片上的光致抗蝕劑層是均勻的，沒有任何間隙。這樣可以使晶片獲得更高的純度和精度。此外，旋轉塔還配備了數字溫度傳感器和加熱/冷卻元件，可用於在晶片加工之前和加工過程中精確控制晶片的溫度。ADVANCED SPIN Equipment INC還SV-702加快晶圓光刻劑的清洗過程。該系統采用精心設計的轉移機制，大大減少了清潔所需的時間。清洗機構還能夠從晶片上同步紡絲和噴塗光致抗蝕劑，進一步加快清洗過程。此外，清潔機構包括化學稀釋模式和半導體抗蝕劑烘幹機，允許在清潔過程完成後快速幹燥抗蝕劑層。SV-702是一個最先進的光刻裝置，為半導體晶片提供無與倫比的處理精度和速度。它具有光學CCD對準機、數字溫度傳感器、抗幹燥機等先進功能。這些功能旨在提供最佳晶圓處理結果,並大大減少晶圓對準誤差。該工具是任何半導體生產設施的寶貴補充。