二手 AIO SF 600 #9139571 待售

AIO SF 600
製造商
AIO
模型
SF 600
ID: 9139571
晶圓大小: 6"
AIO corporation IPA vapor dryer,6".
AIO SF 600是為開發敏感和大面積光刻工藝而設計的光刻設備。適用於正負光刻膠同時使用,允許金屬圖案、布線、光刻工藝的精確發展。該系統由顯影劑、曝光單元、沖洗單元、真空室四個截然不同的單元組成。開發者是一個兩階段的過程。第一階段涉及將光刻膠溶液與顯影劑精礦混合,噴灑到基材上。這就產生了顯影劑的有效濃度,從而確保了光致抗蝕劑的正確開發。第二階段是潤濕步驟,這是保證顯影劑均勻均勻分布在基板上所必需的。曝光單元通過蒙版為光刻膠提供必要的曝光,允許對電路進行陣列化或應用適當的光刻工藝。其可調源和定制的曝光時間保證了高精度結果的短而均勻的曝光。其特別設計的鏡頭單元提供均勻的照明,最大程度的圖案定義。沖洗裝置設計用於最大程度地去除光致抗蝕劑,同時防止殘留物的穿洞和堆積。它的智能控制確保了沖洗時間、壓力和溫度的精確調整,以實現最佳的光致抗蝕劑去除。該機組配備了內置的循環沖洗水機,以最大限度地提高效率和使用率。真空室有助於防止光刻膠在整個開發過程中流出所需的圖樣區域。其內置的可調壓力和加熱工具確保了真空的一致和準確的產生。可調加熱有助於調節光刻膠的熱流,使光刻膠更耐粘附或其他物理現象。SF 600是一種高度先進的光刻資產,提供精確度和精確度,可以完成任何光刻或蝕刻項目。它的特點使金屬圖樣、布線和光刻工藝的高質量開發能夠廣泛應用。
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