二手 AET RX-V4 #78797 待售

ID: 78797
晶圓大小: 4"
Quartz Rapid Thermal Process unit, 4" Up to 8 gases Dry pump included.
AET RX-V4是一種先進的快速熱處理設備,旨在促進高效的半導體器件制造。RX-V4是一種多用途且可靠的工具,可實現快速高溫分析、晶圓退火、沈積和高精度模具粘合過程。該系統具有集成的垂直升力、多種升力-升力配置以及集成的晶圓映射功能。AET RX-V4包含預編程的水平臂(Harmonizer)和高級軟件診斷。這允許快速檢測和映射各個工藝參數,並允許進行自適應設計,以便將設備輕松無縫地集成到制造環境中。Harmonizer能夠進行多種熱處理,包括厚膜固化和燒制、金屬薄膜固化和低溫熱處理。集成的先進汽車技術確保了最大的穩定性和正常運行時間,使其成為半導體器件生產過程中的理想解決方案。RX-V4的高級晶圓映射功能能夠可視化和識別各個流程步驟,從而使用戶能夠快速診斷和修改各種流程參數。晶圓圖包括幾個高分辨率圖像,這些圖像可隨時間監測各個工藝參數。它可用於監視熱過程中的溫度曲線,以及關聯視覺檢查數據。此外,AET RX-V4可以快速識別樣本中的缺陷和其他不一致之處。RX-V4配備了高效真空機和先進的晶圓分析工具,使用戶能夠進行廣泛的測試和實驗。真空資產利用多種傳感器技術實時監測壓力和溫度。這樣可以確保快速、準確地優化和控制工藝參數。此外,晶圓分析模型允許對晶圓特征(如厚度、組成成分和汙染物水平)進行定量分析。AET RX-V4配備了直觀的圖形用戶界面,旨在實現輕松導航和直觀操作。這使得評估各種熱過程的結果更加容易。設備還包括先進的自我診斷和維護功能,確保最佳操作和可靠性。總體而言,RX-V4是一個高效可靠的熱處理系統.它是高效制造半導體器件的理想工具,為快速、準確和精確的熱分析、晶圓退火、沈積和模具結合過程提供了直觀而全面的平臺。
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