二手 AG ASSOCIATES Heatpulse 610 #9175565 待售

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AG ASSOCIATES Heatpulse 610
已售出
ID: 9175565
優質的: 1997
Rapid Thermal Processing (RTP) system Bench top Single chamber No gas detector Single wafer process Single rotometer controlled gas channel Multistep process cycle capability Quartz tray wafer diameter, 6" Programmable ramp up rates: 10°C-250°C/sec Operating temperature range: 450°C-1250°C Peak temperature: 1,200°C Processing cycle: 1-600 sec PC Controller with flat screen monitor Pyrometer temperature control Thermocouple Input power supply: 208 V, 3 Phase, 60 Hz, 125 A 1997 vintage.
AG ASSOCIATES Heatpulse 610是一種快速熱處理器(RTP),專為高生產吞吐量和工藝一致性而設計。該處理器采用具有四區溫度控制的連續真空密封爐來快速、一致地處理樣品。四區控制允許整個樣品寬度的精確溫度控制,減少過冷和過熱的問題。AG ASSOCIATES HEATPULSE 610的鍵合面積為610 x 485mm,容量可達60晶圓,可加熱至1000 °C的最高溫度。精密加熱器元件的熱穩定性±為0.5°C。采用變速氣流來控制熔爐過程的熱環境,確保所有晶片的過程溫度均勻。熱壓610提供多種工藝配方,包括低熔化溫度合金、退火、擴散、高溫/高熱釋放、氧化和真空退火。它還支持變形鍵合和MEMS等特殊過程。所有過程都使用板載控制器和高級配方編程進行控制。HEATPULSE 610具有耐用的玻璃鋁結構,帶有四螺桿檢修門和檢修端口。它非常適合半導體或微電子、光伏、MEMS和航空航天等行業環境。處理器用戶友好,具有直觀的觸摸屏和可定制的顯示器,可提供實時流程監控。它還為可靠的生產輸出提供了高級錯誤檢測和預防功能。此外,AG ASSOCIATES Heatpulse 610配備了軟件包,使用戶更容易進行數據分析、控制和監控。這些工具可以在生產過程中節省時間和成本,從而提高產量並加快投資回報。為了確保可靠的性能,處理器需要一年的保修期。AG ASSOCIATES HEATPULSE 610還提供培訓和技術支持以及預防性維護選項等服務,以幫助客戶最大限度地提高投資並從處理器中獲取最大價值。
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