二手 AG ASSOCIATES Heatpulse 410 #9148956 待售

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ID: 9148956
晶圓大小: 2"-4"
Rapid thermal processor, 2"-4" Quartz process chamber (21) Tungsten halogen lamps Closed-loop temperature control Fast heating and cooling rates Temperature range: 400-1250° C Steady-state temperature stability: ± 2° C Temperature monitoring mechanisms: Extended range pyrometer (ERP) Heating rate: 1-200° C/sec Cooling rate: max 150° C/sec Maximum non-uniformity: ±5°C across a 6″ wafer at 1150°C Implant: 1E16 50 KeV Implant uniformity ≤0.3% Steady state time: 1-9999 sec Process gases: Optional MFC, Up to 4.
AG ASSOCIATES Heatpulse 410 Rapid Thermal Processor是用於制造集成電路和其他設備的最先進的機器。熱脈沖410設計用於在嚴格控制和可重復的環境中對半導體基板進行快速可靠的熱循環。AG ASSOCIATES Heatpulse 410的核心是一款高度先進的耐腐蝕高速微處理器,旨在提供精確快速的熱循環。此處理器可確保晶片的熱梯度最小,即使在向上或向下傾斜時也是如此。該處理器旨在實現高精度的溫度控制和出色的循環重復性。熱脈沖410具有先進的射頻保護功能,可最大程度地減少信號幹擾造成的熱應力。它還具有先進的超低電噪聲級別,可將外部信號和串擾的潛在幹擾降至最低。AG ASSOCIATES Heatpulse 410包括一個板載觸摸屏控制面板,具有專用溫度、脈沖和腔室溫度控制調制器。它還具有實時熱監測功能,為用戶提供對單個晶圓參數(如溫度、壓力和脈沖寬度)的連續讀數。Heatpulse 410旨在支持單晶片和批處理。它包括多個嵌入式熱配置文件,允許用戶配置機器以適應不同類型的處理。此外,可以將機器配置為適應不同的熱處理要求,如最大加熱速率、最大冷卻速率和最大浸泡時間。在安全性方面,AG ASSOCIATES Heatpulse 410以高溫傳感器、故障安全電源管理等先進安全特性打造,保護機器免受硬件和軟件故障的侵害。該機還具有一個多點冷卻系統,在緊急情況下可用於冷卻晶片。總體而言,Heatpulse 410是一款先進可靠的快速熱處理器,旨在提供嚴密的溫度控制和出色的可重復性。它具有高度先進的微處理器、可靠的射頻保護和實時熱監控功能。此外,它還包括高溫傳感器、故障安全電源管理和多點冷卻系統等多種安全功能。
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