二手 AG ASSOCIATES Heatpulse 8108 #9161356 待售

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ID: 9161356
Rapid thermal processor Temperature sensor: DTC ez-DTC Double O-ring: P/N: 7310-4622-05 Ceramic shield, 8" N2 Curtain Susceptor, 6" Graphite with SIC coating Wafer aligner.
AG ASSOCIATES Heatpulse 8108是一款快速熱處理器(RTP),旨在為廣泛的微電子材料提供高質量的熱處理。最先進的設備能夠在受控大氣中快速準確地加熱基板。該系統由一個基本單元和一個主動冷卻的壓板組成。基本單元裝有加熱器和計算機控制的過程控制器。該工藝控制器用於控制加熱參數。也可用於控制冷卻速率和過程中施加在基板上的壓力。主動冷卻的板材包括用於溫度控制的熱電偶和一套用於夾緊和基板運動的高精度空氣軸承。該機組的溫度範圍很大,溫度從-25 °C到600°C不等。整個基板的溫度均勻度在+/-7°C下測量,從而確保熱處理的質量。其均勻的冷卻機制確保晶片以均勻的速率冷卻,沒有任何熱點或損壞。該機還通過提供控制溫度、坡道速率和壓力等參數的方法,以及監測基板的溫度均勻性和均勻冷卻,來支持一個準確和可重復的過程。它還具有測量薄膜厚度、裂紋深度和折射率等參數的能力。通過方便用戶的界面和數據記錄功能,使工具的分析和控制更加容易。該資產還支持強大的售後服務網絡,其部件和消耗品隨時可用。綜上所述,AG ASSOCIATES HEAT PULSE 8108是一種有效的快速熱處理器,能夠提供高質量的熱處理。它提供了廣泛的溫度範圍,準確和可重復的過程控制,和用戶友好的界面。其監測基板溫度均勻性和均勻冷卻的能力保證了結果可靠可靠。其售後服務網絡使其成為眾多應用的誘人選擇。
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