二手 AG ASSOCIATES Heatpulse 8108 #9196230 待售
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已售出
ID: 9196230
晶圓大小: 5"-8"
優質的: 1995
Rapid thermal processor annealing system, 5"-8"
Electronics
Mass flow controlled gas handling
Cooling
ULPA Filtration
Mechanical assemblies
Silicon dielectric growth
Implant annealing
Glass re-flow
Silicide formation and annealing
Nitridation of metals
Contact alloying
Oxygen donor annihilation
Wafer handling: Automatic serial processing
Standard cassettes
Throughput: Process dependent
Ramp-up rate: Programmable
1 – 180°C Per second
Steady-state duration: 1 – 600 Seconds per step
Ramp-down rate: Programmable
1 – 180°C Per second
Ramp down rate is temperature
Radiation dependent
Maximum 150°C per second
Steady-state temperature range: 400 – 1200°C
ERP Temperature accuracy: +3°C to -7°C
Calibrated against an instrumented thermocouple wafer (ITC)
Temperature repeatability: + 3°C
Temperature uniformity: + 5°C
1995 vintage.
AG ASSOCIATES Heatpulse 8108是一款先進的快速散熱處理器,能夠提供高性能。它旨在加速各種材料的快速熱加工，包括陶瓷、金屬、聚合物和復合材料。它具有多種功能,非常適合快速原型設計、研發和制造生產。AG ASSOCIATES HEAT PULSE 8108是一種單室可編程設備,具有兩個高扭矩的熱風風扇,可在必要的溫度下提供優化的結果。這些風扇可以獨立調整，以實現精確的溫度控制，同時冷卻速度比標準溫度控制的批式爐快三倍。該爐的最高溫度為1200 °C，爐床板尺寸為300 mm。它有一個內置的自動水冷液壓系統，在過溫或過壓的情況下關閉爐。HEATPULSE 8108的智能通過用戶友好的觸摸屏界面管理，菜單結構全面，顯示直觀。通過此接口對流程進行編程和監控非常容易。處理器還具有計算機連接功能,允許多個用戶從自己的工作站或聯網計算機訪問設備。它還支持Quick-Heating TM等軟件工具,以實現快速循環時間和多個配方存儲。AG ASSOCIATES HEATPULSE 8108的其他特性包括氣體分配機、用於優化熱剖面的內置溫度斜坡程序以及內部帶有陶瓷襯裏的不銹鋼外殼,有助於保護易碎材料免受熱沖擊。此外，它還配備了自動報警工具和容錯設計，以便可靠運行。這些特性使HEAT PULSE 8108成為可靠靈活的快速熱處理器。
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